Përmbledhje e Epitaksisë së Rrezeve Molekulare (MBE)
Teknologjia e Epitaksisë së Rrezeve Molekulare (MBE) u zhvillua në vitet 1950 për të përgatitur materiale të filmit të hollë gjysmëpërçues duke përdorur teknologjinë e avullimit me vakum. Me zhvillimin e teknologjisë së vakumit ultra të lartë, aplikimi i teknologjisë është shtrirë në fushën e shkencës së gjysmëpërçuesve.
Motivimi i kërkimit të materialeve gjysmëpërçuese është kërkesa për pajisje të reja, të cilat mund të përmirësojnë performancën e sistemit. Nga ana tjetër, teknologjia e re materiale mund të prodhojë pajisje të reja dhe teknologji të re. Epitaksia me rreze molekulare (MBE) është një teknologji me vakum të lartë për rritjen e shtresës epitaksiale (zakonisht gjysmëpërçuese). Ai përdor rrezen e nxehtësisë së atomeve ose molekulave burimore që ndikojnë në nënshtresën e vetme kristalore. Karakteristikat e vakumit ultra të lartë të procesit lejojnë metalizimin in-situ dhe rritjen e materialeve izoluese në sipërfaqet gjysmëpërçuese të reja të rritura, duke rezultuar në ndërfaqe pa ndotje.
Teknologjia MBE
Epitaksia e rrezes molekulare u krye në një vakum të lartë ose vakum ultra të lartë (1 x 10-8Pa) mjedisi. Aspekti më i rëndësishëm i epitaksisë së rrezes molekulare është shkalla e ulët e depozitimit, e cila zakonisht lejon që filmi të rritet epitaksial me një shpejtësi më të vogël se 3000 nm në orë. Një shkallë kaq e ulët depozitimi kërkon një vakum mjaft të lartë për të arritur të njëjtin nivel pastërtie si metodat e tjera të depozitimit.
Për të përmbushur vakumin ultra të lartë të përshkruar më sipër, pajisja MBE (qeliza Knudsen) ka një shtresë ftohëse dhe mjedisi me vakum ultra të lartë të dhomës së rritjes duhet të mbahet duke përdorur një sistem qarkullimi të azotit të lëngshëm. Azoti i lëngshëm ftoh temperaturën e brendshme të pajisjes në 77 Kelvin (−196 °C). Mjedisi me temperaturë të ulët mund të zvogëlojë më tej përmbajtjen e papastërtive në vakum dhe të sigurojë kushte më të mira për depozitimin e filmave të hollë. Prandaj, një sistem i dedikuar i qarkullimit të ftohjes së azotit të lëngshëm kërkohet që pajisjet MBE të ofrojnë një furnizim të vazhdueshëm dhe të qëndrueshëm prej -196 °C azot të lëngshëm.
Sistemi i qarkullimit të ftohjes së azotit të lëngshëm
Sistemi i qarkullimit të ftohjes së azotit të lëngshëm me vakum përfshin kryesisht,
● rezervuar kriogjenik
● tub kryesor dhe degë me xhaketë vakum / zorrë me xhaketë vakum
● Ndarës i fazës speciale MBE dhe tub shkarkimi i veshur me vakum
● valvola të ndryshme me xhaketë vakum
● pengesë gaz-lëng
● filtër me xhaketë vakum
● Sistemi dinamik i pompës vakum
● Sistemi i rinxehjes së ftohjes dhe pastrimit
Kompania HL Cryogenic Equipment ka vënë re kërkesën e sistemit të ftohjes së azotit të lëngshëm MBE, shtyllën teknike të organizuar për të zhvilluar me sukses një sistem të posaçëm ftohjeje me azot të lëngshëm MBE për teknologjinë MBE dhe një grup të plotë izolimi vakumedsistemi i tubacioneve, i cili është përdorur në shumë ndërmarrje, universitete dhe institute kërkimore.
Pajisjet kriogjenike HL
HL Cryogenic Equipment e cila u themelua në 1992 është një markë e lidhur me Kompaninë e Pajisjeve Kriogjenike të Shenjtë Chengdu në Kinë. HL Cryogenic Equipment është e angazhuar në projektimin dhe prodhimin e Sistemit të tubacioneve kriogjenike të izoluara me vakum të lartë dhe të pajisjeve mbështetëse përkatëse.
Për më shumë informacion, ju lutemi vizitoni faqen zyrtare të internetitwww.hlcryo.com, ose email tekinfo@cdholy.com.
Koha e postimit: Maj-06-2021
