Brief i epitaksisë së rrezes molekulare (MBE)
Teknologjia e epitaksisë së rrezes molekulare (MBE) u zhvillua në vitet 1950 për të përgatitur materiale të filmit të hollë gjysmëpërçues duke përdorur teknologjinë e avullimit të vakumit. Me zhvillimin e teknologjisë ultra të lartë të vakumit, aplikimi i teknologjisë është shtrirë në fushën e shkencës gjysmëpërçuese.
Motivimi i hulumtimit të materialeve gjysmëpërçuese është kërkesa për pajisje të reja, të cilat mund të përmirësojnë performancën e sistemit. Nga ana tjetër, teknologjia e re materiale mund të prodhojë pajisje të reja dhe teknologji të re. Epitaksia e rrezes molekulare (MBE) është një teknologji e lartë vakumi për rritjen e shtresës epitaksiale (zakonisht gjysmëpërçuese). Përdor rrezen e nxehtësisë së atomeve të burimit ose molekulave që ndikojnë në substratin e vetëm kristal. Karakteristikat ultra të larta të vakumit të procesit lejojnë metalizimin në vend dhe rritjen e materialeve izoluese në sipërfaqet gjysmëpërçuese të rritura rishtas, duke rezultuar në ndërfaqe pa ndotje.
Teknologjia MBE
Epitaksia e rrezes molekulare u krye në një vakum të lartë ose vakum ultra të lartë (1 x 10-8PA) Mjedisi. Aspekti më i rëndësishëm i epitaksisë së rrezes molekulare është shkalla e tij e ulët e depozitimit, e cila zakonisht lejon që filmi të rritet në epitaksial me një normë më të vogël se 3000 nm në orë. Një normë e tillë e ulët e depozitimit kërkon një vakum mjaft të lartë për të arritur të njëjtin nivel të pastërtisë si metodat e tjera të depozitimit.
Për të përmbushur vakumin ultra të lartë të përshkruar më lart, pajisja MBE （Qeliza Knudsen） ka një shtresë ftohëse, dhe mjedisi vakum ultra i lartë i dhomës së rritjes duhet të mbahet duke përdorur një sistem të qarkullimit të azotit të lëngshëm. Azoti i lëngshëm ftoh temperaturën e brendshme të pajisjes në 77 Kelvin (−196 ° C). Mjedisi i temperaturës së ulët mund të zvogëlojë më tej përmbajtjen e papastërtive në vakum dhe të sigurojë kushte më të mira për depozitimin e filmave të hollë. Prandaj, kërkohet një sistem i qarkullimit të ftohjes së azotit të lëngshëm të lëngshëm që pajisjet MBE të sigurojnë një furnizim të vazhdueshëm dhe të qëndrueshëm të azotit të lëngshëm -196 ° C.
Sistemi i qarkullimit të ftohjes së azotit të lëngshëm
Sistemi i qarkullimit të ftohjes së azotit të lëngshëm të vakumit kryesisht përfshin,
Tank rezervuari kriogjenik
● Kryesit dhe gete me xhaketë me xhaketë me vakum dhe degë të degës
● MBE ndarës i fazës speciale dhe tub shter me xhaketë vakum
● Valvola të ndryshme me xhaketë vakum
Barrier Barriera e gazit-të lëngshme
Filter Filtri me xhaketë vakum
System Sistemi dinamik i pompës vakum
● Sistemi i ngrohjes së parakohshme dhe pastrimit
Kompania e Pajisjeve Cryogenic HL ka vërejtur kërkesën e sistemit të ftohjes së azotit të lëngshëm MBE, shtyllën kurrizore teknike të organizuar për të zhvilluar me sukses një sistem special të bashkimit të azotit MBE për teknologjinë MBE dhe një grup të plotë të insulat vakumedSistemi i tubacioneve, i cili është përdorur në shumë ndërmarrje, universitete dhe institute kërkimore.
Pajisjet Cryogenic HL
Pajisjet Cryogenic HL e cila u themelua në 1992 është një markë e lidhur me Chengdu Shenjtë Cryogenic Company në Kinë. Pajisjet Cryogenic HL janë të angazhuara për hartimin dhe prodhimin e sistemit të lartë të tubacioneve të izoluara me vakum të lartë dhe pajisjeve mbështetëse të lidhura.
Për më shumë informacion, vizitoni faqen zyrtare të internetitwww.hlcryo.com, ose email për tëinfo@cdholy.com.
Koha e Postimit: Maj-06-2021
