Përmbledhje e Epitaksisë me Rreze Molekulare (MBE)
Teknologjia e Epitaksisë me Rreze Molekulare (MBE) u zhvillua në vitet 1950 për të përgatitur materiale gjysmëpërçuese me film të hollë duke përdorur teknologjinë e avullimit në vakum. Me zhvillimin e teknologjisë së vakumit ultra të lartë, zbatimi i teknologjisë është zgjeruar në fushën e shkencës së gjysmëpërçuesve.
Motivimi i kërkimit të materialeve gjysmëpërçuese është kërkesa për pajisje të reja, të cilat mund të përmirësojnë performancën e sistemit. Nga ana tjetër, teknologjia e re e materialeve mund të prodhojë pajisje dhe teknologji të reja. Epitaksia me rreze molekulare (MBE) është një teknologji me vakum të lartë për rritjen e shtresës epitaksiale (zakonisht gjysmëpërçuese). Ajo përdor rrezen e nxehtësisë së atomeve ose molekulave burimore që ndikojnë në substratin me kristal të vetëm. Karakteristikat ultra të larta të vakumit të procesit lejojnë metalizimin in-situ dhe rritjen e materialeve izoluese në sipërfaqet gjysmëpërçuese të sapo rritura, duke rezultuar në ndërfaqe pa ndotje.
Teknologjia MBE
Epitaksia me rreze molekulare u krye në vakum të lartë ose vakum ultra të lartë (1 x 10-8Pa) mjedis. Aspekti më i rëndësishëm i epitaksise me rreze molekulare është shkalla e ulët e depozitimit, e cila zakonisht lejon që filmi të rritet epitaksialisht me një shkallë prej më pak se 3000 nm në orë. Një shkallë kaq e ulët depozitimi kërkon një vakum mjaftueshëm të lartë për të arritur të njëjtin nivel pastërtie si metodat e tjera të depozitimit.
Për të përmbushur vakumin ultra të lartë të përshkruar më sipër, pajisja MBE (qeliza Knudsen) ka një shtresë ftohëse, dhe mjedisi i vakumit ultra të lartë të dhomës së rritjes duhet të mbahet duke përdorur një sistem qarkullimi të azotit të lëngshëm. Azoti i lëngshëm e ftoh temperaturën e brendshme të pajisjes në 77 Kelvin (−196 °C). Mjedisi me temperaturë të ulët mund të zvogëlojë më tej përmbajtjen e papastërtive në vakum dhe të ofrojë kushte më të mira për depozitimin e filmave të hollë. Prandaj, një sistem i dedikuar qarkullimi i ftohjes së azotit të lëngshëm është i nevojshëm që pajisjet MBE të sigurojnë një furnizim të vazhdueshëm dhe të qëndrueshëm të azotit të lëngshëm -196 °C.
Sistemi i Qarkullimit të Ftohjes me Azot të Lëngshëm
Sistemi i qarkullimit të ftohjes me azotin e lëngshëm me vakum përfshin kryesisht,
● rezervuar kriogjenik
● tub kryesor dhe degëzues me mbulesë vakumi / tub me mbulesë vakumi
● Ndarës special i fazave MBE dhe tub shkarkimi me mbulesë vakumi
● valvola të ndryshme me mbulesë vakumi
● barrierë gaz-lëng
● filtër me mbulesë vakumi
● sistem dinamik pompe vakumi
● Sistem paraftohjeje dhe pastrimi për ngrohje
Kompania HL Cryogenic Equipment ka vënë re kërkesën për sistemin e ftohjes me azot të lëngshëm MBE, ka organizuar një bazë teknike për të zhvilluar me sukses një sistem të veçantë ftohjeje me azot të lëngshëm MBE për teknologjinë MBE dhe një set të plotë izoluesish vakumi.edsistemi i tubacioneve, i cili është përdorur në shumë ndërmarrje, universitete dhe institute kërkimore.
Pajisjet kriogjenike HL
HL Cryogenic Equipment, e themeluar në vitin 1992, është një markë e lidhur me Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company në Kinë. HL Cryogenic Equipment është e përkushtuar ndaj projektimit dhe prodhimit të Sistemit të Tubave Kryogjenike të Izoluara me Vakum të Lartë dhe Pajisjeve Mbështetëse përkatëse.
Për më shumë informacion, ju lutemi vizitoni faqen zyrtare të internetitwww.hlcryo.com, ose dërgoni email teinfo@cdholy.com.
Koha e postimit: 06 Maj 2021
