Teknologjia
Epitaksia me rreze molekulare, ose MBE, është një teknikë e re për rritjen e filmave të hollë të kristaleve me cilësi të lartë në nënshtresa kristalore. Në kushte vakumi ultra të lartë, soba ngrohëse është e pajisur me të gjitha llojet e komponentëve të kërkuar dhe gjeneron avull, përmes vrimave të formuara pas kolimimit të rrezes atomike ose molekulare të rrezes, injektimit të drejtpërdrejtë në temperaturën e përshtatshme të nënshtresës së vetme kristalore, duke kontrolluar rreze molekulare për të skanimi i substratit në të njëjtën kohë, mund të bëjë që molekulat ose atomet në shtresat e shtrirjes së kristalit të formojnë një film të hollë mbi një "rritje" të nënshtresës.
Për funksionimin normal të pajisjeve MBE, pastërtia e lartë, presioni i ulët dhe azoti i lëngshëm ultra i pastër kërkohet që të transportohen vazhdimisht dhe në mënyrë të qëndrueshme në dhomën e ftohjes së pajisjes. Në përgjithësi, një rezervuar që siguron azot të lëngshëm ka një presion prodhimi midis 0.3MPa dhe 0.8MPa. Azoti i lëngshëm në -196℃ avullohet lehtësisht në azot gjatë transportit të tubacionit. Sapo azoti i lëngshëm me një raport gaz-lëng prej rreth 1:700 të gazifikohet në tubacion, ai do të zërë një sasi të madhe të hapësirës së rrjedhës së azotit të lëngshëm dhe do të zvogëlojë rrjedhën normale në fund të tubacionit të azotit të lëngshëm. Përveç kësaj, në rezervuarin e depozitimit të azotit të lëngshëm, ka gjasa të ketë mbeturina që nuk janë pastruar. Në tubacionin e azotit të lëngshëm, ekzistenca e ajrit të lagësht do të çojë gjithashtu në gjenerimin e skorjes së akullit. Nëse këto papastërti shkarkohen në pajisje, kjo do të shkaktojë dëme të paparashikueshme në pajisje.
Prandaj, azoti i lëngshëm në rezervuarin e jashtëm transportohet në pajisjen MBE në punëtorinë pa pluhur me efikasitet të lartë, stabilitet dhe pastërti, dhe presioni i ulët, pa azot, pa papastërti, 24 orë pa ndërprerje, një sistem i tillë kontrolli transporti është një produkt i kualifikuar.
Pajisjet MBE që përputhen
Që nga viti 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ka optimizuar dhe përmirësuar këtë sistem dhe ka bashkëpunuar me prodhuesit ndërkombëtarë të pajisjeve MBE. Prodhuesit e pajisjeve MBE, duke përfshirë DCA, REBER, kanë marrëdhënie bashkëpunimi me kompaninë tonë. Prodhuesit e pajisjeve MBE, duke përfshirë DCA dhe REBER, kanë bashkëpunuar në një numër të madh projektesh.
Riber SA është ofruesi kryesor global i produkteve të epitaksisë së rrezeve molekulare (MBE) dhe shërbimeve përkatëse për kërkime gjysmëpërçuese të përbërë dhe aplikime industriale. Pajisja Riber MBE mund të depozitojë shtresa shumë të holla materiali në nënshtresë, me kontrolle shumë të larta. Pajisja me vakum e HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) është e pajisur me Riber SA Pajisja më e madhe është Riber 6000 dhe më e vogla është Compact 21. Është në gjendje të mirë dhe është njohur nga klientët.
DCA është MBE kryesor i oksidit në botë. Që nga viti 1993, është bërë zhvillimi sistematik i teknikave të oksidimit, ngrohjes së substratit antioksidues dhe burimeve antioksiduese. Për këtë arsye, shumë laboratorë kryesorë kanë zgjedhur teknologjinë e oksidit DCA. Sistemet MBE gjysmëpërçuese të përbëra përdoren në mbarë botën. Sistemi i qarkullimit të azotit të lëngshëm VJ i Pajisjeve Cryogenic HL (HL CRYO) dhe pajisjet MBE të modeleve të shumta të DCA kanë përvojën e përputhjes në shumë projekte, si modeli P600, R450, SGC800 etj.
Tabela e Performancës
Instituti i Fizikës Teknike të Shangait, Akademia Kineze e Shkencave |
Instituti i 11-të i Korporatës së Teknologjisë Elektronike të Kinës |
Instituti i Gjysëmpërçuesve, Akademia Kineze e Shkencave |
Huawei |
Alibaba DAMO Academy |
Powertech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Koha e postimit: Maj-26-2021