Teknologji
Epitaksia e rrezes molekulare, ose MBE, është një teknikë e re për rritjen e filmave të hollë me cilësi të lartë të kristaleve në substratet kristal. Në kushte vakumi ultra të lartë, nga sobë e ngrohjes është e pajisur me të gjitha llojet e përbërësve të kërkuar dhe gjenerojnë avull, përmes vrimave të formuara pas kolimimit të rrezes së rrezes ose rrezes molekulare, injeksion i drejtpërdrejtë në temperaturën e duhur të substratit të vetëm kristal, duke kontrolluar rrezen molekulare në rreze Skanimi i substratit në të njëjtën kohë, mund të bëjë molekulat ose atomet në shtresat e shtrirjes kristal për të formuar një film të hollë në një "rritje" të substratit.
Për funksionimin normal të pajisjeve MBE, pastërtia e lartë, presioni i ulët dhe azoti i lëngshëm ultra i pastruar kërkohet të transportohen vazhdimisht dhe në mënyrë të qëndrueshme në dhomën e ftohjes së pajisjeve. Në përgjithësi, një rezervuar që siguron azot të lëngshëm ka një presion daljeje midis 0.3MPa dhe 0.8MPa.Sht -azot në -196 ℃ është avulluar lehtësisht në azot gjatë transportit të tubacionit. Sapo azoti i lëngshëm me një raport gaz-lëngu prej rreth 1: 700 është gazifikuar në tubacion, ai do të zërë një sasi të madhe të hapësirës së rrjedhës së azotit të lëngshëm dhe do të zvogëlojë rrjedhën normale në fund të tubacionit të azotit të lëngshëm. Përveç kësaj, në rezervuarin e ruajtjes së azotit të lëngshëm, ka të ngjarë të ketë mbeturina që nuk janë pastruar. Në tubacionin e lëngshëm të azotit, ekzistenca e ajrit të lagësht do të çojë gjithashtu në gjenerimin e skorjeve të akullit. Nëse këto papastërti shkarkohen në pajisje, kjo do të shkaktojë dëme të paparashikueshme të pajisjeve.
Prandaj, azoti i lëngshëm në rezervuar një produkt i kualifikuar.



Përputhja e pajisjeve MBE
Që nga viti 2005, pajisjet kriogjenike të HL (HL Cryo) kanë qenë duke optimizuar dhe përmirësuar këtë sistem dhe duke bashkëpunuar me prodhuesit ndërkombëtarë të pajisjeve MBE. Prodhuesit e pajisjeve MBE, përfshirë DCA, Reber, kanë marrëdhënie bashkëpunuese me kompaninë tonë. Prodhuesit e pajisjeve MBE, përfshirë DCA dhe Reber, kanë bashkëpunuar në një numër të madh projektesh.
Riber SA është një ofrues kryesor global i produkteve të epitaksisë së rrezes molekulare (MBE) dhe shërbimeve të lidhura për kërkime të ndërlikuara gjysmëpërçuese dhe aplikime industriale. Pajisja Riber MBE mund të depozitojë shtresa shumë të hollë të materialit në substrat, me kontrolle shumë të larta. Pajisjet vakum të pajisjeve kriogjenike HL (HL Cryo) janë të pajisura me Riber SA Pajisjet më të mëdha janë Riber 6000 dhe më e vogla është kompakte 21. Isshtë në gjendje të mirë dhe është njohur nga klientët.
DCA është oksidi kryesor në botë MBE. Që nga viti 1993, është kryer zhvillimi sistematik i teknikave të oksidimit, ngrohja e substratit antioksidues dhe burimet antioksiduese. Për këtë arsye, shumë laboratorë kryesorë kanë zgjedhur teknologjinë e oksidit DCA. Sistemet MBE gjysmëpërçuese të përbërë përdoren në të gjithë botën. Sistemi qarkullues i azotit të lëngshëm VJ të pajisjeve kriogjenike të HL (HL Cryo) dhe pajisjet MBE të modeleve të shumta të DCA kanë përvojën përputhen në shumë projekte, siç është modeli P600, R450, SGC800 etj.

Tabelë e performancës
Instituti i Fizikës Teknike Shanghai, Akademia Kineze e Shkencave |
Korporata e Teknologjisë së 11 -të të Institutit të Teknologjisë Elektronike të Kinës |
Instituti i Gjysem perçuesve, Akademia Kineze e Shkencave |
Huawei |
Akademia Alibaba Damo |
Technology Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Koha e postimit: maj-26-2021