Teknologji
Epitaksia me rreze molekulare, ose MBE, është një teknikë e re për rritjen e filmave të hollë kristalesh me cilësi të lartë në substrate kristalore. Në kushte vakumi ultra të lartë, soba ngrohëse është e pajisur me të gjitha llojet e komponentëve të nevojshëm dhe gjeneron avull, përmes vrimave të formuara pas kolimimit të rrezes atomike ose molekulare, injektohet direkt në temperaturën e duhur të substratit me kristal të vetëm, duke kontrolluar skanimin e rrezes molekulare në substrat në të njëjtën kohë, mund të bëjë që molekulat ose atomet në shtresat e shtrirjes së kristalit të formojnë një film të hollë në substrat.
Për funksionimin normal të pajisjeve MBE, kërkohet që azoti i lëngshëm me pastërti të lartë, presion të ulët dhe ultra të pastër të transportohet vazhdimisht dhe në mënyrë të qëndrueshme në dhomën e ftohjes së pajisjeve. Në përgjithësi, një rezervuar që ofron azot të lëngshëm ka një presion dalës midis 0.3MPa dhe 0.8MPa. Azoti i lëngshëm në -196℃ avullohet lehtësisht në azot gjatë transportit në tubacion. Pasi azoti i lëngshëm me një raport gaz-lëng prej rreth 1:700 të gazifikohet në tubacion, ai do të zërë një sasi të madhe të hapësirës së rrjedhjes së azotit të lëngshëm dhe do të zvogëlojë rrjedhën normale në fund të tubacionit të azotit të lëngshëm. Përveç kësaj, në rezervuarin e ruajtjes së azotit të lëngshëm, ka të ngjarë të ketë mbeturina që nuk janë pastruar. Në tubacionin e azotit të lëngshëm, ekzistenca e ajrit të lagësht do të çojë gjithashtu në gjenerimin e skorjeve të akullit. Nëse këto papastërti shkarkohen në pajisje, kjo do të shkaktojë dëme të paparashikueshme në pajisje.
Prandaj, azoti i lëngshëm në rezervuarin e magazinimit të jashtëm transportohet në pajisjet MBE në punishte pa pluhur me efikasitet të lartë, stabilitet dhe pastërti, dhe presion të ulët, pa azot, pa papastërti, 24 orë pa ndërprerje, një sistem i tillë kontrolli i transportit është një produkt i kualifikuar.



Pajisjet MBE të përputhshme
Që nga viti 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ka optimizuar dhe përmirësuar këtë sistem dhe ka bashkëpunuar me prodhuesit ndërkombëtarë të pajisjeve MBE. Prodhuesit e pajisjeve MBE, përfshirë DCA, REBER, kanë marrëdhënie bashkëpunimi me kompaninë tonë. Prodhuesit e pajisjeve MBE, përfshirë DCA dhe REBER, kanë bashkëpunuar në një numër të madh projektesh.
Riber SA është një ofrues kryesor global i produkteve të epitaksisë me rreze molekulare (MBE) dhe shërbimeve të lidhura me të për kërkimin e gjysmëpërçuesve të përbërë dhe aplikimet industriale. Pajisja Riber MBE mund të depozitojë shtresa shumë të holla materiali në substrat, me kontrolle shumë të larta. Pajisjet e vakumit të HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) janë të pajisura me Riber SA. Pajisjet më të mëdha janë Riber 6000 dhe më të voglat janë Compact 21. Ato janë në gjendje të mirë dhe janë njohur nga klientët.
DCA është MBE-ja kryesore e oksidit në botë. Që nga viti 1993, është kryer zhvillimi sistematik i teknikave të oksidimit, ngrohjes së substratit antioksidues dhe burimeve antioksiduese. Për këtë arsye, shumë laboratorë kryesorë kanë zgjedhur teknologjinë e oksidit DCA. Sistemet MBE gjysmëpërçuese kompozite përdoren në të gjithë botën. Sistemi i qarkullimit të azotit të lëngshëm VJ i HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) dhe pajisjet MBE të modeleve të shumta të DCA kanë përvojë të ngjashme në shumë projekte, të tilla si modeli P600, R450, SGC800 etj.

Tabela e Performancës
Instituti i Fizikës Teknike të Shangait, Akademia Kineze e Shkencave |
Instituti i 11-të i Korporatës së Teknologjisë Elektronike të Kinës |
Instituti i Gjysmëpërçuesve, Akademia Kineze e Shkencave |
Huawei |
Akademia Alibaba DAMO |
Powertech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Koha e postimit: 26 maj 2021