Sistemet e ftohjes së azotit të lëngshëm përdoren gjerësisht në industrinë e gjysmëpërçuesve dhe çipave, duke përfshirë procesin e,
- Teknologjia e Epitaksisë së Rrezeve Molekulare (MBE)
- Testi i çipit pas paketës COB
Produkte të ngjashme
Seria e tubave të izoluar me vakum
Seria e zorrëve fleksibël të izoluar me vakum
Sistemi dinamik i pompës vakum
Seria e ndarësit e fazave të izoluara me vakum
Seria e valvulave të izoluara me vakum
Pajisjet mbështetëse të sistemit të tubacioneve
EPITAKSIA E RREZIT MOLEKULAR
Teknologjia e Epitaksisë së Rrezeve Molekulare (MBE) u zhvillua në vitet 1950 për të përgatitur materiale të filmit të hollë gjysmëpërçues duke përdorur teknologjinë e avullimit me vakum. Me zhvillimin e teknologjisë së vakumit ultra të lartë, aplikimi i teknologjisë është shtrirë në fushën e shkencës së gjysmëpërçuesve.
HL ka vënë re kërkesën e sistemit të ftohjes së azotit të lëngshëm MBE, të organizuar shtyllën kurrizore teknike për të zhvilluar me sukses një sistem special të ftohjes së azotit të lëngshëm MBE për teknologjinë MBE dhe një grup të plotë të sistemit të tubacioneve të izoluara me vakum, i cili është përdorur në shumë ndërmarrje, universitete dhe institute kërkimore. .
Problemet e zakonshme të industrisë së gjysmëpërçuesve dhe çipave përfshijnë,
- Presioni i azotit të lëngshëm në pajisjet terminale (MBE). Parandaloni mbingarkesën me presion nga dëmtimi i pajisjeve të terminalit (MBE).
- Kontrollet e shumëfishta të hyrjes dhe daljes së lëngjeve kriogjenike
- Temperatura e azotit të lëngshëm në pajisjet terminale
- Një sasi e arsyeshme e emetimeve të gazit kriogjenik
- Ndërrimi (Automatik) i Linjave kryesore dhe Degës
- Rregullimi i Presionit (Reduktues) dhe Stabiliteti i VIP
- Pastrimi i papastërtive të mundshme dhe mbetjeve të akullit nga rezervuari
- Koha e mbushjes së pajisjes së lëngshme të terminalit
- Paraftohja e tubacionit
- Rezistenca e Lëngut në Sistemin VIP
- Kontrolloni humbjen e azotit të lëngshëm gjatë shërbimit të ndërprerë të sistemit
Tubi i izoluar me vakum (VIP) i HL-së është ndërtuar sipas kodit të tubacioneve me presion ASME B31.3 si standard. Përvoja inxhinierike dhe aftësia e kontrollit të cilësisë për të siguruar efikasitetin dhe kosto-efektivitetin e impiantit të klientit.
ZGJIDHJE
HL Cryogenic Equipment u ofron klientëve sistemin e tubacioneve të izoluara me vakum për të përmbushur kërkesat dhe kushtet e industrisë së gjysmëpërçuesve dhe çipave:
1.Sistemi i Menaxhimit të Cilësisë: ASME B31.3 Kodi i tubacioneve me presion.
2. Një ndarës i fazës speciale me hyrje dhe dalje të shumëfishtë të lëngjeve kriogjenike me funksion kontrolli automatik plotëson kërkesat e emetimit të gazit, azotit të lëngshëm të ricikluar dhe temperaturës së azotit të lëngshëm.
3. Dizajni adekuat dhe në kohë i shkarkimit siguron që pajisjet terminale të funksionojnë gjithmonë brenda vlerës së presionit të projektuar.
4. Barriera e gazit-lëngshëm vendoset në tubacionin vertikal VI në fund të tubacionit VI. Barriera e gazit të lëngshëm përdor parimin e izolimit të gazit për të bllokuar nxehtësinë nga fundi i tubacionit VI në tubacionin VI, dhe për të zvogëluar në mënyrë efektive humbjen e azotit të lëngshëm gjatë shërbimit të ndërprerë dhe të ndërprerë të sistemit.
5.VI Tubacionet e kontrolluara nga seria e valvulave të izoluara me vakum (VIV): Përfshirë valvulën mbyllëse të izoluar me vakum (pneumatike), valvulën e kontrollit të izoluar me vakum, valvulën rregulluese të izoluar me vakum etj. Lloje të ndryshme të VIV mund të kombinohen modulare për të kontrolluar VIP-në si kërkohet. VIV është i integruar me parafabrikimin VIP në prodhues, pa trajtim të izoluar në vend. Njësia e vulës së VIV mund të zëvendësohet lehtësisht. (HL pranon markën e valvulave kriogjenike të përcaktuara nga klientët dhe më pas bën valvula të izoluara me vakum nga HL. Disa marka dhe modele valvulash mund të mos jenë në gjendje të shndërrohen në valvula të izoluara me vakum.)
6. Pastërtia, nëse ka kërkesa shtesë për pastërtinë e sipërfaqes së tubit të brendshëm. Sugjerohet që klientët të zgjedhin tubat prej çeliku të pandryshkshëm BA ose EP si tuba të brendshëm VIP për të reduktuar më tej derdhjen e çelikut inox.
7. Filtri i izoluar me vakum: Pastroni papastërtitë e mundshme dhe mbetjet e akullit nga rezervuari.
8. Pas disa ditësh ose më të gjatë mbylljeje ose mirëmbajtjeje, është shumë e nevojshme të ftohni paraprakisht tubacionin VI dhe pajisjet terminale përpara se të futet lëngu kriogjenik, në mënyrë që të shmanget skorja e akullit pasi lëngu kriogjenik hyn drejtpërdrejt në tubacionin VI dhe pajisjet terminale. Funksioni i ftohjes paraprake duhet të merret parasysh në dizajn. Siguron mbrojtje më të mirë për pajisjet terminale dhe pajisjet mbështetëse të tubacioneve VI, si valvulat.
9.Suit për sistem tubacionesh me izolim dinamik dhe statik me vakum (fleksibil).
10. Sistemi i tubacioneve me izolim dinamik (fleksibël) me vakum: Përbëhet nga zorrët fleksibël VI dhe/ose tuba VI, tubat kërcyes, sistemi i valvulave të izoluara me vakum, ndarësit e fazës dhe sistemi i pompës vakum dinamik (duke përfshirë pompat vakum, valvulat solenoid dhe matësat e vakumit etj. ). Gjatësia e zorrës së vetme fleksibile VI mund të personalizohet sipas kërkesave të përdoruesit.
11. Lloje të ndryshme lidhjesh: Lloji i lidhjes me bajonetë me vakum (VBC) dhe lidhje me saldim mund të zgjidhen. Lloji VBC nuk ka nevojë për trajtim të izoluar në vend.
