Sistemet e ftohjes së azotit të lëngshëm përdoren gjerësisht në industrinë gjysmëpërçuese dhe çipa, duke përfshirë procesin e,
- Teknologjia e epitaksisë së rrezes molekulare (MBE)
- Testi i çipit pas paketës COB
Produkte të lidhura
Seria e tubave të izoluar me vakum
Seria fleksibël e izoluar me vakum
Sistemi dinamik i pompës vakum
Seria e ndarësit të fazës së izoluar me vakum
Seria e valvulave të izoluara me vakum
Pajisjet mbështetëse të sistemit të tubave
Epitaksi rreze molekulare
Teknologjia e epitaksisë së rrezes molekulare (MBE) u zhvillua në vitet 1950 për të përgatitur materiale të filmit të hollë gjysmëpërçues duke përdorur teknologjinë e avullimit të vakumit. Me zhvillimin e teknologjisë ultra të lartë të vakumit, aplikimi i teknologjisë është shtrirë në fushën e shkencës gjysmëpërçuese.
HL ka vërejtur kërkesën e sistemit të ftohjes së azotit të lëngshëm MBE, të organizuar shtyllën kurrizore teknike për të zhvilluar me sukses një sistem special të bashkimit të azotit MBE për teknologjinë MBE dhe një grup të plotë të sistemit të tubacioneve të izoluar vakum, i cili është përdorur në shumë ndërmarrje, universitete dhe institute kërkimore .
Problemet e zakonshme të industrisë së gjysmëpërçuesit dhe çipave përfshijnë,
- Presioni i azotit të lëngshëm në pajisjet terminale (MBE). Parandaloni mbingarkesën e presionit nga dëmtimi i pajisjeve të terminalit (MBE).
- Kontrollet e shumta të hyrjes dhe daljeve të lëngshme kriogjenike
- Temperatura e azotit të lëngshëm në pajisjet terminale
- Një sasi e arsyeshme e emetimeve të gazit kriogjenik
- (Automatik) ndërrimi i linjave kryesore dhe të degëve
- Rregullimi i presionit (zvogëlimi) dhe stabiliteti i VIP
- Pastrimi i papastërtive të mundshme dhe mbetjet e akullit nga rezervuari
- Koha e mbushjes së pajisjeve të lëngshme të terminalit
- Tubacioni i parakohshëm
- Rezistencë e lëngshme në sistemin VIP
- Kontrolloni humbjen e azotit të lëngshëm gjatë shërbimit të pandërprerë të sistemit
Tubi i izoluar me vakum i HL (VIP) është ndërtuar në kodin e tubacionit të presionit ASME B31.3 si standard. Përvoja inxhinierike dhe aftësia e kontrollit të cilësisë për të siguruar efikasitetin dhe koston-efektivitetin e uzinës së klientit.
Zgjidhje
Pajisjet Cryogenic HL u sigurojnë klientëve sistemin e tubacioneve të izoluara me vakum për të përmbushur kërkesat dhe kushtet e industrisë së gjysmëpërçuesit dhe çipave:
1. Sistemi i Menaxhimit të Kualitetit: ASME B31.3 Kodi i tubacionit të presionit.
2. Një ndarës i fazës së veçantë me hyrje të shumëfishtë të lëngshme kriogjenike dhe dalje me funksion automatik të kontrollit plotëson kërkesën e emetimit të gazit, azotit të lëngshëm të ricikluar dhe temperaturës së azotit të lëngshëm.
3. Dizajni i shterit të shterit dhe në kohë siguron që pajisjet terminale të funksionojnë gjithmonë brenda vlerës së projektuar të presionit.
4. Pengesa e gazit-e lëngshme vendoset në tubin vertikal VI në fund të tubacionit VI. Pengesa e gazit-e lëngshme përdor parimin e vulës së gazit për të bllokuar nxehtësinë nga fundi i tubacionit VI në tubacionin VI, dhe në mënyrë efektive të zvogëlojë humbjen e azotit të lëngshëm gjatë shërbimit të ndërprerë dhe të ndërprerë të sistemit.
5.VI tubacionet e kontrolluara nga seria e valvulës së izoluar vakum (VIV): përfshirë valvulën e mbyllur të izoluar vakum (pneumatik), valvulën e kontrollit të izoluar me vakum, valvulën rregulluese të izoluar vakum etj. Lloje të ndryshme të VIV mund të jenë modulare të kombinuara për të kontrolluar VIP si kërkohet. VIV është i integruar me parafabrikimin VIP në prodhues, pa trajtim të izoluar në vend. Njësia e vulës së VIV mund të zëvendësohet lehtë. (HL pranon markën e valvulave kriogjenike të caktuar nga klientët, dhe më pas bën valvulat e izoluara me vakum nga HL. Disa marka dhe modele të valvulave mund të mos jenë në gjendje të bëhen në valvulat e izoluara me vakum.)
6.Përcaktimi, nëse ka kërkesa shtesë për pastërtinë e sipërfaqes së tubit të brendshëm. Sugjerohet që klientët të zgjedhin tubat e çelikut të pandryshkshëm BA ose EP si tuba të brendshëm VIP për të zvogëluar më tej derdhjen e çelikut inox.
7. Filtri i izoluar iVakuumit: Pastroni papastërtitë e mundshme dhe mbetjet e akullit nga rezervuari.
8. Pas disa ditësh ose mbyllje ose mirëmbajtje më të gjatë, është shumë e nevojshme të paracaktoni tubacionet VI dhe pajisjet terminale përpara se të futet lëngu kriogjenik, në mënyrë që të shmangni skorjen e akullit pasi lëngu kriogjenik të hyjë drejtpërdrejt në tubacionet VI dhe pajisjet terminale. Funksioni i parakohshëm duhet të konsiderohet në dizajn. Ajo siguron mbrojtje më të mirë për pajisjet terminale dhe pajisjet mbështetëse të tubacioneve VI siç janë valvulat.
9.Suit për sistemin e tubacioneve të izoluar me vakum (fleksibël) të izoluar (fleksibël).
10. Sistemi i tubacioneve të izoluar me vakum (fleksibël) të izoluar: përbëhet nga gypa fleksibël VI dhe/ose tub VI, gete bluzë, sistemi i valvulave të izoluara me vakum, ndarësit fazorë dhe sistemi dinamik i pompës vakum (përfshirë pompat vakum, valvulat solenoid dhe matëset e vakumit etj. ). Gjatësia e zorrës së vetme VI fleksibël mund të personalizohet sipas kërkesave të përdoruesit.
11. Llojet e lidhjes së ndryshme: Lidhja me vakum Bayonet (VBC) Lloji dhe lidhja e salduar mund të zgjidhen. Lloji VBC nuk ka nevojë për trajtim të izoluar në vend.
